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1.MLI系列设备为工业应用提供具有直接波长的准分子激光器。具有市场上较
长的正常运行时间和可靠性以及较低的运营成本。由于均匀的光束轮廓和能量稳定性，适用于要求苛刻的应用。
张曼丽
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2.MLI 系列准分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源，具有高达16 mJ的高脉冲能量和高达1,000 Hz的重复频率。
3.如果需要，标准设置的激光器可以根据个人需求进行调整。如：准分子激光器可用的波长为 193 nm（气体：ArF 氟化氩）和 248 nm（气体：KrF 氟化氪）。可根据要求提供其他波长如157nm等，也可以提供高功率版本HP
我们的LC准分子激光系统还能够进行主动水冷（使用家用水或外部热交换器;无纯化水），以实现稳定的连续运行。
重量：每件80公斤
冷却：水
电源功率：230V50/60Hz，最大功率2000W
外形尺寸(长x宽x高)：560x355X445毫米
波长（纳米）
193 193 193 248 248 248
重复频率（赫兹）
200 500 1000 200 500 1000
稳定的
脉冲能量 （mJ）
6 6 6 10 10 10
稳定平均功率 （W）
1,2 3,0 6,0 2,0 5,0 10
脉冲稳定性（西格玛 %）
2 2 2 2 2 2
光束尺寸（FWHM，VxHmm）
6×3 6×3 6×3 6×3 6×3 6×3
光束发散（FWHM，VxHmm） 2×1 2×1 2×1 2×1 2×1 2×1
脉冲长度
5-10 5-10 5-10 5-15 5-15 5-15
产品型号：
MLI - 200 / 500 / 1000
MLI-HP-KrF 500 / 1000
MLI-Krf-FBG/200/500/1000
MLI-HP-Krf-FBG/200/500/1000